電阻率是決定半導體材料電學特性的重要參數,為了表征工藝質量以及材料的摻雜情況,需要測試材料的電阻率。半導體材料電阻率測試方法有很多種,其中四探針法具有設備簡單、操作方便、測量精度高以及對樣品形狀無嚴格 ...