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濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統工藝，總部位于蘇格蘭的Point 35 Microstructures在SEMICON China期間推出了干法刻蝕模塊與氧化物釋放技術，該技術為MEMS器件設計師提供了更多的生產選擇，同時帶來了寬泛的制造工藝窗口，從而使良率得到了提升。 SVR-vHF氧化物釋放模塊結合現有的memsstar SVR-Xe 犧牲性汽相釋放模塊，利用無水氫氟蒸汽(aHF)來去除犧牲氧化物，從而釋放MEMS機械結構。SVR蝕刻方法可以完全地去除犧牲材料而不損害機械結構或導致黏附，它同時提供了高度的可選擇性、可重復性和均勻性。麥斯艾姆科技，全國首家P C B(麥斯艾姆知識課堂)樣板打板，元器件代采購，及貼片的一站式服務提供者！SVR保留有干燥的表面，沒有任何殘留物或水汽，這也省去了包含在濕法工藝中的表面準備、引入酸、中和以及隨后的干燥等步驟。麥斯艾姆（massembly）貼片知識課堂，用通俗的文字介紹專業貼片知識。 SVR與 CMOS工藝和CMOS晶圓設施是兼容的，這使得MEMS器件可以像傳統的 集成電路一樣在相同的設施和基板上進行生產，這也將適用于新類型的單片MEMS/CMOS 器件。SVR進一步的好處包括減少材料的使用和更低的浪費。
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發表于 2013-7-5 10:15:07
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