優化電纜連接技術改善晶圓上測量結果

發布時間：2014-2-26 15:05 發布者：eechina

完全分析所有材料和器件需要進行精密直流、交流阻抗以及超快 I-V或脈沖 I-V測量。將測試設備連接到半自動或手動探測臺的復雜性會使晶圓上的準確測量變得更為復雜。本文分析了直流、多頻電容、超快 I-V和脈沖測試以及正確接地和屏蔽的重要性，為特定測量選擇正確的互連方式，并排除常見的互連故障。

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