MEMS器件的計算機輔助設計與模擬

發布時間：2011-1-11 22:18 發布者：看門狗

關鍵詞： MEMS

本文論述了微電子機械系統的計算機輔助設計和模擬過程,分析了MEMS CAD 系統所應具有的主要內容和系統模擬中的關鍵問題,討論了目前經常采用的各種模擬系統的模擬形式和應用范圍。并結合靜電微馬達與微米P納米鑷子實例,分析了模塊化的CAD 軟件結構形式以及所用MEMS 材料的數據庫建立和應用連接,所提出并采用的開發方式適用于微傳感器及微執行器等微系統器件的設計與模擬。

MEMS器件的計算機輔助設計與模擬.pdf (552.36 KB)

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