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molbox1+流量測試主機 內置2個高精度石英參考級壓力傳感器（Q-RPT） • 絕壓：± (0.01 % 讀數或 0.003 % Q-RPT 跨距，取大值 ) • 差壓 (A700K ) ：± (8.4 Pa或 0.032 % ΔP，取大值 ) • 差壓 (A350K ) ：± (4.2 Pa或 0.026 % ΔP，取大值 ) molbloc-L層流元件模塊 利用層流狀態的氣流上下游差壓與流速成正比的關系測量氣體流量 • 特級標定：流量測量不確定度為讀數的±0.125％ • 標準標定：流量測量不確定度為讀數的±0.2％ • 量程范圍：最小（0-10） sccm；最大（0-100） slm molbloc-S音速噴嘴模塊 利用噴嘴在臨界條件下的質量流量與入口絕對壓力成正比的關系測量氣體流量 • 特級標定：流量測量不確定度為讀數的±0.125％ • 標準標定：流量測量不確定度為讀數的±0.2％ • 量程范圍：最小（0.2-5） slm；最大（200-5000） slm • 量程可擴展至20000slm 資料下載： 
技術數據 molbox1 流量測量主機 2014-8_2022.pdf
(5 MB)
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