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作者：Joe Kwan，來(lái)自明導(dǎo) 如今對(duì)于一些技術(shù)節(jié)點(diǎn)，設(shè)計(jì)人員需要在晶圓代工廠流片和驗(yàn)收之前進(jìn)行光刻友好設(shè)計(jì) (Litho Friendly Design) 檢查。由于先進(jìn)節(jié)點(diǎn)的解析度增進(jìn)技術(shù) (RET) 限制，即使在符合設(shè)計(jì)規(guī)則檢查 (DRC) 的設(shè)計(jì)中，我們?nèi)钥吹搅烁嗟闹圃靻?wèn)題[1] [2]。設(shè)計(jì)布局中制造特性較差的區(qū)域（即使應(yīng)用了 RET 技術(shù)）所謂光刻熱點(diǎn)，只有在設(shè)計(jì)驗(yàn)證流程中修改布局多邊形才能糾正這些熱點(diǎn)。 光刻熱點(diǎn)修復(fù)應(yīng)該滿足兩個(gè)條件：
不過(guò)，移動(dòng)布局邊緣來(lái)修復(fù)光刻熱點(diǎn)，這些邊緣不一定是直接鄰接熱點(diǎn)。確定移動(dòng)哪個(gè)布局邊緣來(lái)修復(fù)光刻熱點(diǎn)的過(guò)程相當(dāng)復(fù)雜，因?yàn)閺脑O(shè)計(jì)布局到印出電路涉及一連串改變?cè)疾季中螤畹膹?fù)雜非線性步驟（如 RET），原本布局圖型改變及光學(xué)效應(yīng)對(duì)布局特征的影響需列入考慮。鑒于修復(fù)光刻熱點(diǎn)所需的布局修正必須由設(shè)計(jì)人員進(jìn)行，他們通常不熟悉這些流片后過(guò)程，顯然在修復(fù)過(guò)程中，電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化 (EDA) 工具需要為設(shè)計(jì)人員提供一些幫助。 在明導(dǎo)，我們稱之為基于模型的建議(MBH)。MBH 可以評(píng)估熱點(diǎn)、確定有哪種修復(fù)選擇可以使用、進(jìn)行模擬來(lái)確定這些修復(fù)建議也遵守所需的條件，然后為設(shè)計(jì)人員提供適當(dāng)?shù)男迯?fù)建議（圖1）。一次修復(fù)可能包括單邊移動(dòng)或者多邊移動(dòng)，一個(gè)光刻熱點(diǎn)可能存在不止一種可行的修復(fù)方法。此外，修復(fù)后的設(shè)計(jì)驗(yàn)證可以發(fā)現(xiàn)任何新的違反DRC 最小線寬寬度或者間隔的狀況，但是它無(wú)法檢測(cè)到被刪除或者合并的多邊形，因此 MBH 系統(tǒng)必須將這個(gè)知識(shí)整合進(jìn)建議模型所提供的建議里。能夠在一個(gè)建議里看到所有可行的修復(fù)選擇，使設(shè)計(jì)人員同時(shí)擁有糾正熱點(diǎn)所需的信息以及進(jìn)行最適合其設(shè)計(jì)修復(fù)的靈活性。 
表 1. 使用基于模型的建議進(jìn)行的光刻熱點(diǎn)分析（改編自“Model Based Hint for Litho Hotspot Fixing Beyond 20nm node,” SPIE 2013） 有關(guān) MBH 系統(tǒng)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是他們可以拓展，通過(guò)使用以原始目標(biāo)層作為輸入端的分解層，為使用雙重或者三重圖案微影制造的層中發(fā)現(xiàn)的光刻熱點(diǎn)提供支持建議。這使設(shè)計(jì)人員能夠繼續(xù)解決20nm和以下的光刻熱點(diǎn)。事實(shí)上，我們已經(jīng)有許多客戶在多個(gè)設(shè)計(jì)中使用光刻模擬和 MBH 流片20nm芯片，從而消除光刻熱點(diǎn)。 當(dāng)然，不言而喻，任何生成這些建議的軟件解決方案還需要準(zhǔn)確和快速。 由于設(shè)計(jì)人員必須承擔(dān)越來(lái)越多的責(zé)任來(lái)確保設(shè)計(jì)可以通過(guò)日益復(fù)雜的生產(chǎn)流程進(jìn)行制造，EDA 軟件必須不斷發(fā)展來(lái)填補(bǔ)這一知識(shí)差距。具有基于模型的建議能力的光刻友好設(shè)計(jì)工具是 EDA 系統(tǒng)如何成為設(shè)計(jì)和制造之間橋梁的一個(gè)例子。 作者介紹: Joe Kwan 是明導(dǎo) Calibre LFD 和 Calibre DFM Services 的產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)經(jīng)理。他過(guò)去曾在VLSI Technology、 COMPASS Design Automation 以及 Virtual Silicon 就職。Joe 在加州大學(xué)伯克利分校獲得計(jì)算機(jī)科學(xué)文學(xué)學(xué)士學(xué)位，并在斯坦福大學(xué)獲電氣工程理學(xué)碩士學(xué)位。 電郵：joe_kwan@mentor.com. |
