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來源：中國電子報 中小MEMS企業(yè)創(chuàng)新面臨產(chǎn)品中試困境，制約了我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展。日前中國—新加坡蘇州工業(yè)園區(qū)舉辦了一場具有特別意義的MEMS傳感器產(chǎn)品交付會，蘇州納米科技發(fā)展有限公司將6英寸微納機電制造(MEMS)中試線的首個產(chǎn)品正式交付客戶。這也意味著國內(nèi)首條全開放、市場化運作的6英寸微納機電制造(MEMS)中試線正式運營，該中試線的投用將為我國中小MEMS企業(yè)的發(fā)展帶來福音。 據(jù)了解，蘇州6英寸微納機電制造(MEMS)中試線，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設，超凈場地、廠務配套設施、研發(fā)實驗室、公共服務等場地共16000平方米，其中超凈工藝場地5200平方米，該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目，也得到了工信部“工業(yè)轉(zhuǎn)型升級服務平臺項目”支持。 6英寸微納機電制造(MEMS)中試線的推動者、蘇州納米科技發(fā)展有限公司負責人、蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會秘書長張希軍一直積極推動中試線建設，他對MEMS中試線的產(chǎn)業(yè)意義有更深層次的思考，認為中試線不僅是中小企業(yè)的創(chuàng)新平臺，更彌補了中國MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈的空白。 “我國中小MEMS企業(yè)發(fā)展面臨很多困難，其中一個關鍵的難題是產(chǎn)品的工程化與中試生產(chǎn)，規(guī)模代工廠門檻較高，高校院所的實驗室工程化能力較弱或開放度不夠，產(chǎn)品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業(yè)規(guī)模化成長的瓶頸。”張希軍告訴記者。 智恒(廈門)微電子有限公司總經(jīng)理鄭政也表達了類似的看法，“MEMS領域的Fab(代工廠)和大的封裝廠費用門檻較高，小公司往往很難承受”。鄭政是2012年國家千人計劃專家，長期從事基于MEMS和集成電路的智能傳感器的研究、開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化工作。 張希軍的“瓶頸說”形象地揭示了我國MEMS產(chǎn)業(yè)領域中小企業(yè)的生存現(xiàn)狀。由于我國MEMS產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新鏈不完善，缺乏工業(yè)級中試線的支撐，科研團隊在研發(fā)做出樣品后又無法直接進入代工廠，難以實現(xiàn)漸進式的規(guī)模化成長。 據(jù)了解，蘇州6英寸微納機電制造(MEMS)中試線采用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業(yè)服務，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品，產(chǎn)品樣品測試結果良好，基本具備了MEMS芯片的開發(fā)加工能力。 “我們的中試線，與科研機構的概念驗證、單步工藝能力不同，主要開展中試和小批量生產(chǎn)業(yè)務，前端與產(chǎn)品樣品銜接，后端與規(guī)模代工廠銜接，是一個完全工業(yè)級別的中試線，不僅可以幫助中小企業(yè)創(chuàng)新，還可以促進他們規(guī)模化發(fā)展。”蘇州6英寸微納機電制造(MEMS)中試線運營總監(jiān)游家杰告訴記者。 當前，我國正處在MEMS產(chǎn)業(yè)格局形成、產(chǎn)業(yè)化加速發(fā)展的時期，產(chǎn)業(yè)資源集中分布在研發(fā)起步早、研發(fā)資源豐富、掌握技術前沿的環(huán)渤海灣(北京、天津、石家莊)地區(qū)，產(chǎn)品企業(yè)集聚、產(chǎn)業(yè)鏈健全、商業(yè)化環(huán)境優(yōu)良的長三角(上海、蘇州、無錫)地區(qū)，市場驅(qū)動靈活、集成制造能力強的珠三角(深圳)地區(qū)。 從全國范圍看，江蘇MEMS產(chǎn)業(yè)資源集聚度最高，正成為國內(nèi)MEMS創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化最具吸引力的區(qū)域，MEMS產(chǎn)業(yè)資源主要集聚在南京、無錫、蘇州三個城市。蘇州在MEMS產(chǎn)業(yè)布局多年，目前形成了MEMS傳感器的芯片設計、研發(fā)、中試、封裝測試的全覆蓋的產(chǎn)業(yè)特色，涌現(xiàn)了晶方半導體、敏芯、明皜等一批業(yè)界知名公司。 “發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)，既要看清楚我們的優(yōu)勢，又要找準自身的不足。6英寸微納機電制造(MEMS)中試線只是蘇州MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新起點，要構筑MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，我們還需要全國的產(chǎn)業(yè)資源，來突破資源限制、人才限制、技術限制。”張希軍長期擔任蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會秘書長，和半導體企業(yè)打了多年交道，對產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心要素有比較深地了解。 據(jù)了解，蘇州納米科技發(fā)展有限公司與東南大學MEMS教育部重點實驗室主任、國家“863”計劃MEMS重大專項總體組專家黃慶安教授合作，開展對全國MEMS資源的梳理，希望全面了解國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀。黃慶安教授認為，智慧終端、物聯(lián)網(wǎng)、智慧醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，帶動了MEMS傳感器的市場需求，未來將成為MEMS應用的重要領域。 |
