Queensgate旗下的NX NanoSensor采用電容性測(cè)微技術(shù)（micrometry），可以提供能夠測(cè)量原子級(jí)別位置改變的靈敏度水平。這種先進(jìn)的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)依賴于兩個(gè)傳感器板（sensor plates）：一個(gè)用作目標(biāo)，一個(gè)用作探頭，而在它們之間則形成一個(gè)平行板電容器。通過采用適當(dāng)?shù)?a href="http://m.4huy16.com/keyword/電子" target="_blank" class="relatedlink">電子控制器，這兩個(gè)板之間的距離可以準(zhǔn)確地確定.NX NanoSensor的主要應(yīng)用包括階段反饋（stage feedback）、振動(dòng)測(cè)量、計(jì)量、變形測(cè)量、精密制造，漂移測(cè)量、精密波束控制和顯微鏡等。
NX NanoSensor能夠以高于7皮米(pm)的精度來確定位置，線性度為0.02％，帶寬為50Hz到10KHz.系統(tǒng)可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整，以便改善位置精度，或者相反地提高對(duì)于動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)的響應(yīng)。板的形狀有圓形、正方形或長(zhǎng)方形可供選擇，并提供22.5mm2、113mm2和282mm2的有效面積.NS2000控制器模塊可與NX NanoSensor協(xié)同工作，能夠測(cè)量平行板電容器電容的任何改變，并隨后產(chǎn)生一個(gè)模擬電壓，該電壓正比于目標(biāo)與探頭傳感器板之間位置的變化。 非接觸式測(cè)量和非自加熱（non-self-heating）機(jī)制意味著NX NanoSensor產(chǎn)品對(duì)于所測(cè)量的結(jié)果不會(huì)產(chǎn)生任何影響，因而能夠得到真實(shí)的納米級(jí)測(cè)量。此外，這些產(chǎn)品采用非磁滯技術(shù)，這意味著位置可以重復(fù). 這些產(chǎn)品的制造可以選用超因瓦合金（Super-Invar）、 Zerdur、鋁、不銹鋼和陶瓷等多種材料，可以允許其熱性能滿足特定應(yīng)用對(duì)于穩(wěn)定性的需求，以便防止出現(xiàn)位置漂移，這些特定的應(yīng)用包括超高真空、抗輻射（radiation hardened）、非磁性和低溫等領(lǐng)域。 |
