Queensgate旗下的NX NanoSensor采用電容性測微技術（micrometry），可以提供能夠測量原子級別位置改變的靈敏度水平。這種先進的非接觸式位置測量系統依賴于兩個傳感器板（sensor plates）：一個用作目標，一個用作探頭，而在它們之間則形成一個平行板電容器。通過采用適當的電子控制器，這兩個板之間的距離可以準確地確定.NX NanoSensor的主要應用包括階段反饋（stage feedback）、振動測量、計量、變形測量、精密制造，漂移測量、精密波束控制和顯微鏡等。
NX NanoSensor能夠以高于7皮米(pm)的精度來確定位置，線性度為0.02％，帶寬為50Hz到10KHz.系統可以根據需要進行調整，以便改善位置精度，或者相反地提高對于動態運動的響應。板的形狀有圓形、正方形或長方形可供選擇，并提供22.5mm2、113mm2和282mm2的有效面積.NS2000控制器模塊可與NX NanoSensor協同工作，能夠測量平行板電容器電容的任何改變，并隨后產生一個模擬電壓，該電壓正比于目標與探頭傳感器板之間位置的變化。 非接觸式測量和非自加熱（non-self-heating）機制意味著NX NanoSensor產品對于所測量的結果不會產生任何影響，因而能夠得到真實的納米級測量。此外，這些產品采用非磁滯技術，這意味著位置可以重復. 這些產品的制造可以選用超因瓦合金（Super-Invar）、 Zerdur、鋁、不銹鋼和陶瓷等多種材料，可以允許其熱性能滿足特定應用對于穩定性的需求，以便防止出現位置漂移，這些特定的應用包括超高真空、抗輻射（radiation hardened）、非磁性和低溫等領域。 |
