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為確保高可靠性，Nanomix公司對基于碳納米管技術的FET進行了晶圓級測試，在模擬使用條件下對封裝的納米管傳感器進行了測試。 傳感器的生產 位于加州埃默里維爾市的Nanomix公司是最先面向市場推出納米電子探測設備的公司，并不斷開發它的SensationTM碳納米管（CNT）技 術實現高附加值診斷與監測應用。目前該公司的產品包括呼吸氣體監測設備和用于各種應用的液體介質生物分子探測器。 極具代表性的是，Nanomix傳感器是基于采用化學汽相淀積工藝和某些特殊方法在6英寸晶圓上制備的CNT網絡FET制成的。有時候采用了柔性襯底和噴涂工藝。CNT網絡上噴涂了一層功能層，與感興趣的化學或生物分析物相互作用。功能層和分析物之間的相互作用會使FET的電氣特征產生可測量的變化。如圖1所示。利用CNT的納米級直徑及其化學和電氣特性可以進行超靈敏的探測。最終形成的傳感器不但尺寸精巧，而且功耗極低。 在生產過程中，我們需要在晶圓級進行測試以評測FET的基本特征。在FET功能形成后，將封裝后的器件暴露給目標分析物，然后分析它們的探測特征。 下載： 
測試系統是開啟納米技術實際應用之門的鑰匙.pdf
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