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摘要:設(shè)計了一種應(yīng)用于掃描電鏡的四自由度并聯(lián)定位平臺。該平臺結(jié)構(gòu)簡單,便于集成微操作裝置和實現(xiàn)微結(jié)構(gòu)物性在線檢測。為使所設(shè)計的定位平臺具有高的定位精度,建立了平臺的誤差矢量模型。通過模擬仿真手段分析了結(jié)構(gòu)誤差和上平臺分支分布對平臺末端定位精度的影響,分析了在大載荷作用下機構(gòu)在非自由度方向產(chǎn)生的角位移輸出。 下載全文
并聯(lián)式四角自由度定位平臺誤差分析.pdf
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