高升的化石燃料價格與對全球變暖的恐懼使人們對可再生能源的興趣大增，并使得相關支持與演示儀表也受到關注。本設計順應了這一形勢，能夠直接和方便地測量一種重要的可再生能源：風能。它便于對 ...

　　從2007年到2012年，MEMS市場的年復合增長率將達到14%。為了滿足市場需求，MEMS企業和Foundry（晶圓代工廠）都在提高生產制造水平，擴大自己的產能。而MEMS的制造也將從現在的5英寸和6英寸線 ...

1 引言 　　大氣壓力傳感器在工業生產、氣象預報、氣候分析、環境監測、航空航天等方面發揮著不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技 ...

1 引言 　　MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發展起來的高新技術，用MEMS技術研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產、成本低的優 ...

1 引言 　　風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環。風速風向可以基于流體力學原理、熱學原理、聲學原理和仿生學原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個 ...

一、引言  MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發展起來的高新科技，其研究開發主要集中在微傳感器、微執行器和微系統三個方面，目前主導MEMS市場的傳感器已形成 ...

MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執行器和相應的處理電路等幾部分，是在融合多種微細加工技術，并應用現代信息技術的最新成果的基礎上發展起來的高科技前沿學科。MEMS是一種全新的必須同 ...

在仿生推進機理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數對于魚類仿生推進機理研究及工程應用具有重要的意義；然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數的觀測方法。這種方法受到環 ...

　　作為中國最早做傳感器的專家之一，上海傳感器協會秘書長顏重光表示如今國內MEMS產業化仍然不夠成熟，尤其是加工方面與國外存在著較大差距�！　☆佒毓庵赋�，MEMS與機械類傳感器相比，精度相 ...

隨著蘋果iPhone和任天堂Wii游戲機的流行，加速度傳感器在消費類電子設備中得到了廣泛的應用。例如，筆記本中的跌落保護、MP4/手機中的屏幕自動翻轉、輕敲手機掛斷電話以及手機“翻轉靜音”等等 ...

如果你正在尋求挑戰，那么就試試將微電機系統(MEMS)IC 和傳統IC 以及其它MEMS IC互連吧。MEMS 技術涉及到許多不同功能之間的高層集成。 　　MEMS 芯片的集成通常是指電子和機械功能的集成。 ...

　　2006年夏假的一天，剛從美國回來的張海霞被學生問得啞口無言。當時她正在講臺上激情四射地講著MEMS美好的應用前景，會成為未來的支柱產業，甚至對工業基礎都會有一個很大的貢獻。突然一個學 ...